泛林集团价格

Lam Research Corporation 设计、制造、销售、翻新并维修用于集成电路制造的半导体加工设备。公司提供 ALTUS 系统，用于钨金属化应用的等形薄膜沉积；提供 SABRE 电化学沉积产品，用于铜互连过渡，支持铜金属化制造（copper damascene）；提供 SOLA 紫外线热处理产品，用于薄膜处理；并提供 VECTOR 等离子增强 CVD ALD 产品。公司还提供 SPEED gapfill（填充）高密度等离子体化学气相沉积产品；以及用于介电薄膜解决方案的 Striker 单晶圆原子层沉积产品。 另外，公司提供 Flex 用于介电刻蚀应用；提供 Kiyo 用于导体刻蚀应用；提供 Syndion 用于 through-silicon via etch（穿通硅通孔刻蚀）应用；并提供 Versys 金属产品，用于金属刻蚀工艺（metal etch）。此外，公司还提供 Coronus 倒角清洗产品（bevel clean），以提升芯片良率；提供 Da Vinci、DV-Prime、EOS 和 SP 系列产品，用于各类晶圆清洗应用；并提供 Metryx 质量计量系统（mass metrology systems），用于半导体晶圆制造中高精度的在线质量测量。公司将其产品和服务销售给美国、欧洲、韩国、东南亚等地区的半导体行业，并覆盖中国、日本、台湾以及国际市场。Lam Research Corporation 于 1980 年成立，总部位于美国加利福尼亚州弗里蒙特（Fremont）。